Вафлата е изработена от чист силиций (Si).Най-общо разделени на 6-инчови, 8-инчови и 12-инчови спецификации, пластината се произвежда въз основа на тази пластина.Силиконовите пластини, приготвени от полупроводници с висока чистота чрез процеси като издърпване на кристали и нарязване, се наричат пластини, тъй катоизползвайте те са с кръгла форма.Различни структури на елементи на веригата могат да бъдат обработени върху силициевите пластини, за да станат продукти със специфични електрически свойства.продукти с функционални интегрални схеми.Вафлите преминават през серия от производствени процеси на полупроводници, за да образуват изключително малки верижни структури и след това се нарязват, пакетират и тестват в чипове, които се използват широко в различни електронни устройства.Материалите за вафли са преживели повече от 60 години технологична еволюция и индустриално развитие, образувайки индустриална ситуация, която е доминирана от силиций и допълнена от нови полупроводникови материали.
80% от мобилните телефони и компютри в света се произвеждат в Китай.Китай разчита на внос за 95% от своите високопроизводителни чипове, така че Китай харчи 220 милиарда щатски долара всяка година за внос на чипове, което е два пъти повече от годишния внос на петрол в Китай.Цялото оборудване и материали, свързани с фотолитографските машини и производството на чипове, също са блокирани, като вафли, метали с висока чистота, машини за ецване и др.
Днес ще говорим накратко за принципа на изтриване с ултравиолетова светлина на машини за вафли.Когато записвате данни, е необходимо да инжектирате заряд в плаващия гейт чрез прилагане на VPP с високо напрежение към гейта, както е показано на фигурата по-долу.Тъй като инжектираният заряд няма енергията да проникне през енергийната стена на филма от силициев оксид, той може само да поддържа статуквото, така че трябва да дадем на заряда определено количество енергия!Това е моментът, когато е необходима ултравиолетова светлина.
Когато плаващата порта получи ултравиолетово облъчване, електроните в плаващата порта получават енергията на квантите на ултравиолетовата светлина и електроните стават горещи електрони с енергия, за да проникнат през енергийната стена на филма от силициев оксид.Както е показано на фигурата, горещите електрони проникват през филма от силициев оксид, текат към субстрата и портата и се връщат в изтрито състояние.Операцията по изтриване може да се извърши само чрез ултравиолетово лъчение и не може да се изтрие по електронен път.С други думи, броят на битовете може да се променя само от "1" на "0" и в обратна посока.Няма друг начин освен да изтриете цялото съдържание на чипа.
Знаем, че енергията на светлината е обратно пропорционална на дължината на вълната на светлината.За да могат електроните да станат горещи електрони и по този начин да имат енергията да проникнат през оксидния филм, е много необходимо облъчването на светлина с по-къса дължина на вълната, тоест ултравиолетови лъчи.Тъй като времето за изтриване зависи от броя на фотоните, времето за изтриване не може да бъде съкратено дори при по-къси дължини на вълните.Обикновено изтриването започва, когато дължината на вълната е около 4000A (400nm).По принцип достига насищане около 3000A.Под 3000A, дори ако дължината на вълната е по-къса, това няма да окаже влияние върху времето за изтриване.
Стандартът за UV изтриване обикновено е да се приемат ултравиолетови лъчи с точна дължина на вълната от 253,7 nm и интензитет от ≥16000 μW/cm².Операцията по изтриване може да бъде завършена с време на експозиция, вариращо от 30 минути до 3 часа.
Време на публикуване: 22 декември 2023 г